电涡流位移传感器的仿真分析与验证Simulation Analysis and Verification of Eddy Current Displacement Sensor
黄瑞,张晓亮,谢依文
摘要(Abstract)：
为了研究基于印制电路板(PCB)设计的电涡流位移传感器结构参数对性能的影响，应用Ansys仿真软件，建立电涡流位移传感器模型，分析传感器的线圈激励频率、线圈与被测目标间隙等参数对系统等效阻抗以及感应电压的影响。根据优化模型制作传感器样机，搭建试验平台，将仿真结果与实测结果进行误差分析，试验结果表明，经优化后的系统在全量程范围内的误差达到±1.5%，验证了模型的准确性和可行性，对电涡流位移传感器的开发应用提供了理论依据。
关键词(KeyWords)： 电涡流感应;位移测量;Ansys;激励频率;PCB线圈
基金项目(Foundation):
作者(Author): 黄瑞,张晓亮,谢依文
DOI: 10.19822/j.cnki.1671-6329.20240013
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